Hiina seisab silmitsi kriitilise tehnoloogilise puudujäägiga väga suure integratsiooni (VLSI) ja ülisuure skaalaga integreerimise (ULSI) rakenduste jaoks mõeldud erigaaside osas, kusjuures gaasid, mille puhtusaste ületab 6N (99,9999%), sõltuvad täielikult impordist.
Et rahuldada kasvavat nõudlust elektroonika erigaaside järele pooljuhtide tootmises, elektroonikatööstuses ja fotogalvaanilises tööstuses, on meie ettevõte viimastel aastatel sõlminud Zhejiangi ülikooliga strateegilise{0}}ülikooli partnerluse. See koostöö keskendub 6N-klassi elektrooniliste gaaside arendamisele, kodumaiste tehnoloogiliste puudujääkide ületamisele ja selle kriitilise probleemi lahendamisele.
2025. aasta juunis asutas meie ettevõte Zhejiangi ülikooli gaasi ja seadmete innovatsioonimeeskonna, mille eesmärk on pakkuda pooljuhtide tarnijatele täiustatud tootmissüsteeme elektrooniliste gaasitoodete jaoks.
Koostööuuringute ja ühiste tehnoloogiliste läbimurrete kaudu oleme edukalt välja töötanud tootmis- ja puhastussüsteemid laiaulatusliku kõrge -puhtusastmega erigaaside portfelli jaoks, sealhulgas: dilämmastikoksiid (N₂O), boortrikloriid (BCl₃), trimetüülsilaan (3MS), propüleen (C3H₆), oktafluorotsükkel (F₃H₆), Heksafluoroetaan (C2F6), vesinikbromiid (HBr) jne.
Lisaks oleme saavutanud suuri läbimurdeid õhueraldusüksuse (ASU) tehnoloogias, saavutades kõrge argooni taaskasutamise määra ja madala{0}}energiaga töötamise, mis parandab oluliselt süsteemi üldist tõhusust ja majanduslikku jõudlust.
Et rahuldada kasvavat nõudlust elektroonika erigaaside järele pooljuhtide tootmises, elektroonikatööstuses ja fotogalvaanilises tööstuses, on meie ettevõte viimastel aastatel sõlminud Zhejiangi ülikooliga strateegilise{0}}ülikooli partnerluse. See koostöö keskendub 6N-klassi elektrooniliste gaaside arendamisele, kodumaiste tehnoloogiliste puudujääkide ületamisele ja selle kriitilise probleemi lahendamisele.
2025. aasta juunis asutas meie ettevõte Zhejiangi ülikooli gaasi ja seadmete innovatsioonimeeskonna, mille eesmärk on pakkuda pooljuhtide tarnijatele täiustatud tootmissüsteeme elektrooniliste gaasitoodete jaoks.
Koostööuuringute ja ühiste tehnoloogiliste läbimurrete kaudu oleme edukalt välja töötanud tootmis- ja puhastussüsteemid laiaulatusliku kõrge -puhtusastmega erigaaside portfelli jaoks, sealhulgas: dilämmastikoksiid (N₂O), boortrikloriid (BCl₃), trimetüülsilaan (3MS), propüleen (C3H₆), oktafluorotsükkel (F₃H₆), Heksafluoroetaan (C2F6), vesinikbromiid (HBr) jne.
Lisaks oleme saavutanud suuri läbimurdeid õhueraldusüksuse (ASU) tehnoloogias, saavutades kõrge argooni taaskasutamise määra ja madala{0}}energiaga töötamise, mis parandab oluliselt süsteemi üldist tõhusust ja majanduslikku jõudlust.
